قطعات یدکی تنگستن و مولیبدن برای ابزارهای کاشت یونی

قطعات یدکی تنگستن و مولیبدن برای ابزارهای کاشت یونی

قطعات یدکی تنگستن و مولیبدن برای ابزارهای کاشت یونی یک فرآیند خلاء در صنعت نیمه هادی است که ویفرها را با یونها آغشته می کند، که خواص الکتریکی مواد ویفر را تغییر می دهد، به عنوان مثال رسانایی.این فرآیند به مراحل زیر تقسیم می شود: ایجاد یون در یک منبع یونی، استخراج و جداسازی جرمی یون ها برای کاشت انتخابی، انحراف پرتو، شتاب و تمرکز پرتو یونی به ویفر.این ناحیه از کاشت یونی، خط پرتو نامیده می شود.

مواد با کارایی بالا مورد استفاده برای قطعات در خط تیر، تنگستن، مولیبدن، تانتال و گرافیت هستند.علاوه بر این از جداکننده های سرامیک با خلوص بالا، به عنوان مثال BN استفاده می شود.

فن متال مواد مصرفی با کیفیت بالا و اجزای جایگزین برای بیم لاین در ایمپلنت های یون AMAT، Varian و Axelis ارائه می کند.ارتقاء تجهیزات و اصلاح قطعات با توجه به نیازهای مشتریان برای بهبود فرآیند خدمات اضافی است.

شماتیک پرتو یون در یک کاشت یون.

قطعات یدکی تنگستن و مولیبدن برای ابزارهای کاشت یونی تصویر: