آلومینیوم تیتانیوم Al 35٪ Ti 65٪ Sputtering Target آلومینیوم

توضیحات محصول

تیتانیوم-آلومینیوم هدف پاشش

اهداف پاشش آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم (AlTi) با فناوری HIP تولید می شوند و به طور گسترده ای در پوشش ابزار و پوشش های تزئینی مورد استفاده قرار می گیرند.در مقایسه با فرآیند ذوب ، هدف TiAl تهیه شده توسط فرآیند HIP دارای ساختار داخلی میکروسکوپی یکنواخت تر و اندازه دانه کوچکتر است که برای ماشینهای مختلف پاشش مگنترون و ماشینهای پوشش یون مناسب است.در فرآیند PVD ، کاربر نهایی می تواند نرخ فرسایش ثابت و خلوص بالا و پوشش فیلم نازک یکنواخت را بدست آورد.

بر اساس گزارش های تحقیقاتی در مورد فرآیند تولید اهداف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم در داخل و خارج از کشور ، تکنیک های اصلی آماده سازی Sputtering Target Titanium-Aluminium در حال حاضر عبارتند از: روش گرمایش با جریان بالا ، روش پخت با فشار داغ ایزوستاتیک و روش پخت با فشار گرم.

تیتانیوم-آلومینیوم هدف ما Sputtering Target به دلیل موارد زیر محبوب هستند:

شکل پذیری بالا

هدایت حرارتی بالا

ریزساختار همگن

سطح بی نظیری از خلوص مواد

هندسه هر چه باشد - کاتدهای قوس گردان یا مسطح یا اهداف پاشش مسطح: ما می توانیم اهداف سفارشی را ارائه دهیم که برای برنامه شما مناسب است.

1. روش گرمایش با جریان بالا

محقق 1 روشی را برای تولید اهداف آلیاژ تیتانیوم-آلومینیوم از طریق جریان شدید ایجاد کرد.در این روش از دستگاهی استفاده می شود که می تواند جریان زیادی را به دست آورد ، و از جریان زیاد برای گرم کردن پودر تیتانیوم و پودر آلومینیوم استفاده می کند و فشار می آورد تا آلومینیوم و تیتانیوم به خودی خود واکنش نشان دهند.هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم شکل می گیرد.چگالی محصول هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم تهیه شده با این روش> 99 ، اندازه دانه 100 میکرون ≤ و خلوص آن> 99 است.محدوده ترکیب هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم عبارت است از: محتوای تیتانیوم 5 ~ ~ 75 ((نسبت اتمی) ، و بقیه محتوای آلومینیوم است.این روش دارای هزینه کم و تراکم بالای محصول است که می تواند نیازهای تولید صنعتی در مقیاس بزرگ را به طور کامل برآورده کند.این روش آماده سازی به دستگاهی نیاز دارد که بتواند جریان زیادی را به دست آورد.الکترودهای مثبت و منفی باید دارای عملکردهای رسانایی و انتقال فشار باشند و دارای رسانایی خوب ، چقرمگی و مقاومت در برابر نرم شدن درجه حرارت بالا و غیره باشند. بنابراین ، آیا می تواند یک دستگاه جریان بزرگ داشته باشد که نیازهای فرآیند را برآورده کند و عملکرد پایداری داشته باشد کلید روش آماده سازی

2. روش پخت فشاری ایزوستاتیک داغ

محقق 2 روش آماده سازی متالورژی پودر از هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم را اختراع کرد.این روش پودر تیتانیوم و پودر آلومینیوم را مخلوط می کند و سپس تحت بارگذاری پودر و فشار سرد ایزوستاتیک قبل از فشرده سازی ، فرآیند گاز زدایی و سپس گرم شدن قرار می گیرد.پرس هیدرواستاتیک شکل می گیرد و در نهایت برای بدست آوردن هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم متخلخل و پردازش می شود.هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم تهیه شده توسط این روش دارای ویژگی های چگالی بالا ، بدون تخلخل ، بدون تخلخل و تفکیک ، ترکیب یکنواخت و دانه های ریز کریستال است.آماده شده چگالی محصول هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم ≥99، ، خلوص آن> 99، ، اندازه دانه mic 100 میکرون و حداکثر اندازه مشخصات می تواند به 1000 میلی متر برسد.محدوده ترکیب هدف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم عبارت است از: محتوای تیتانیوم 20 ~ ~ 80 ((نسبت اتمی) ، و بقیه محتوای آلومینیوم است.روش پرس داغ ایزوستاتیک در حال حاضر روش اصلی برای تهیه اهداف پاشش آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم مورد نیاز صنعت پوشش است.محصولات مورد نظر تهیه شده توسط این روش متراکم بوده و دارای طیف وسیعی از مشخصات اندازه هستند ، با این حال ، این روش نیاز به استفاده از تجهیزات پرس و پخت کلید ، کوره پخت ایزواستاتیک داغ فشاری دارد که گران است ، که منجر به هزینه بالای آن می شود. محصول موردنظر آماده شده و ترویج صنعتی شدن مشکل است.

3. روش پخت داغ پرس پخت

محقق 3 و همکارانیک فرایند پخت سریع داغ برای اهداف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم را اختراع کرد.این فرآیند پودر آلومینیوم تیتانیوم را قادر می سازد تحت اثر ترکیبی گرما و نیرو متخلخل شود.نقطه ذوب پایین آلومینیوم در مخلوط Ti-Al برای کاهش آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم استفاده می شود.این پودرها به هم متصل شده و یک هدف پاشش آلیاژی را تشکیل می دهند.نمودار شماتیک پخت فشار داغ در شکل 2 نشان داده شده است.

تصویر پاشش تیتانیوم-آلومینیوم:

هدف آلیاژ تهیه شده توسط این روش دارای چگالی بالا (≥95) ، اندازه دانه کوچک (00100 میکرون) و ترکیب یکنواخت است.اهداف آلیاژ تیتانیوم-آلومینیوم با ترکیبات مختلف را می توان با این فرایند تهیه کرد.اهداف آلیاژ تیتانیوم-آلومینیوم محدوده ترکیب عبارت است از: محتوای تیتانیوم 25 تا 75 درصد (نسبت اتمی) و بقیه محتوای آلومینیوم است.این فرآیند کوتاه ، کم هزینه و دارای پوشش خوب است ، که می تواند الزامات صنعتی شدن در مقیاس بزرگ را برآورده کند.

ویژگی این فرآیند انتقال فشار از طریق یک قالب سفت و سخت در یک فضای خلاء یا محافظ است ، به طوری که مواد تحت عمل گرما و نیرو متخلخل شده و شکل می گیرد و دو مرحله فشار و پخت سرد در یک ترکیب می شوند. گامی که می تواند کارایی فرایند را تا حد زیادی بهبود بخشد.

این فرآیند نیازهای بالایی برای تجهیزات دارد و تجهیزات اصلی یک کوره پخت داغ فشرده سازی است.اهداف آماده شده عمدتا اهداف آلیاژی گرد با قطر 100 میلی متر است.علاوه بر این ، این فرایند برای تهیه اهداف آلیاژ تیتانیوم-آلومینیوم با محتوای آلومینیوم بالا استفاده می شود.در این زمان ، مشکلات قالبگیری دشوار و عمر مفید قالب پایین وجود دارد.هر فرآیند آماده سازی هدف مجموعه ای از قالب ها را مصرف می کند که هزینه تولید هدف را افزایش می دهد.بنابراین ، لازم است یک عامل آزاد کننده قالب مناسب برای بهبود عملکرد و عملکرد قالب انتخاب شود.نرخ بهره برداری

در حال حاضر ، پخت پرس گرم ، بالاترین فناوری آماده سازی برای اهداف پاشش آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم است.این فناوری دارای راندمان بالای فرآیند بوده و برای تولید صنعتی مناسب است.با این حال ، قالب گیری پرس گرم برای آماده سازی اهداف پاشش آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم به سختی قالب بندی می شود ، مشکل عمر کم قالب.هر فرآیند آماده سازی هدف مجموعه ای از قالب ها را مصرف می کند که هزینه تولید هدف را افزایش می دهد.در فرآیند پخت آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم ، تیتانیوم متعلق به فاز سخت با نقطه ذوب بالا و آلومینیوم متعلق به فاز پیوند است.طی فرآیند پختن پودر آلومینیوم تیتانیوم-آلومینیوم با آلومینیوم بالا ، آلومینیوم کم ذوب به تدریج ذوب می شود ، که می تواند اتم های تیتانیوم را به هم پیوند داده و در نهایت یک هدف آلیاژی ایجاد کند.با این حال ، زاویه خیس شدن مایع آلومینیوم و قالب گرافیت یک زاویه مبهم است و هرچه مقدار آلومینیوم بیشتر از آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم باشد ، قالب گیری پس از پخت و سرد شدن با فشار داغ دشوارتر می شود.بنابراین ، فرآیند آماده سازی پخت داغ آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم با آلومینیوم بالا نیاز به انتخاب عامل رهاسازی مناسب برای بهبود عملکرد و میزان استفاده از قالب دارد.

علاوه بر این ، دمای پخت ، میزان گرمایش و فشار پرس گرم در فرایند پخت داغ تحت تأثیر زیادی بر ساختار و عملکرد نهایی محصول می باشد.در میان آنها ، دمای پخت بیش از حد بالا است ، که منجر به انتقال از پخت فاز جامد به پخت فاز مایع می شود ، و باعث می شود که اسکلت فاز سخت نقطه ذوب بالا فرو ریزد و قدرت و انرژی را هدر دهد ، که برای کاهش هزینه ها مناسب نیست.علاوه بر این ، اگر دمای پخت بیش از حد بالا باشد ، باعث رشد دانه های کریستال و افزایش و رشد فاز دوم می شود ، که باعث کاهش عملکرد پوشش پاششی مواد مورد نظر می شود.اگر دانه های کریستال هدف بیش از حد بزرگ باشند ، سطح پاشش در هنگام پاشیدن مصرف می شود و ناهمواری در سطح قسمت فرسایش که روی هدف پاشش ظاهر می شود ، افزایش می یابد و در نتیجه یکنواختی ضخامت فیلم فیلم کاهش می یابد. تشکیل فیلم آلیاژیهنگامی که قدرت زیاد است ، فرکانس تخلیه غیرطبیعی قوس کوچک افزایش می یابد و پاشش حاصل می شود.در همان زمان ، در مقایسه با بستر ، فاز دوم کارایی پاشش ضعیفی دارد و احتمالاً به صورت برجستگی باقی می ماند ، که بر یکنواختی فیلم پاشش نیز تأثیر می گذارد.دمای پخت بسیار پایین است ، که منجر به پخت ناقص و چگالی کم محصول مورد نظر می شود.اگر میزان گرمایش در طول فرآیند پرس گرم سریع باشد ، می توان کارایی کار را بهبود بخشید ، اما به دلیل اینکه ابتدا قسمتی از ناحیه متخلخل می شود ، مرحله اتصال جریان می یابد و در نتیجه مواد موردنظر مشکل نهایی ترکیب ناهموار ایجاد می شود.فشار بیشتر همچنین می تواند کارایی را افزایش دهد ، اما در عین حال باعث سایش جدی قالب و کاهش عمر مفید قالب می شود.

به طور خلاصه ، پخت پرس گرم ، بالاترین فناوری آماده سازی برای اهداف پاشش آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم است.این فناوری دارای راندمان بالای فرآیند بوده و برای تولید صنعتی مناسب است.آماده سازی اهداف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم با استفاده از این فناوری نیاز به آزمایش و انتخاب مکرر دارد.عامل آزادسازی قالب می تواند سرعت عملکرد و میزان استفاده از قالب را بهبود بخشد.در عین حال ، بهینه سازی شرایط فرآیند پرس داغ پخت (دمای پخت ، میزان گرمایش ، فشار پرس گرم) ، بهبود راندمان تولید و کاهش هزینه ها ضروری است.با رشد سریع پوشش پاشنده و روند رواج تدریجی در چین ، تقاضای بازار برای اهداف پوشش پاشنده نیز هر ساله به سرعت در حال افزایش است.بنابراین ، تحقیق در مورد فن آوری آماده سازی اهداف آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم دارای اهمیت عملی و چشم اندازهای کاربردی بزرگ است.