هدف پاشش تنگستن اندازه دانه ریز با فرآیند باسن / گیربکس / فورج

هدف کندوپاش تنگستن یک بستر مهم برای فیلم اکسید تنگستن است تا انتقال عملکردی خود را در دستگاه نیمه هادی تحقق بخشد.با توجه به نقطه ذوب بالای تنگستن، اهداف تنگستن عمدتاً توسط متالورژی پودر تهیه می شود.

تنگستن و آلیاژهای تنگستن فلز نسوز به دلیل پایداری در دمای بالا، مقاومت انتقال الکترون بالا و ضریب انتشار الکترون بالا، به طور گسترده ای در تولید مدار مجتمع در مقیاس بزرگ نیمه هادی استفاده می شود.اهداف تنگستن و آلیاژ تنگستن با خلوص بالا برای نیمه هادی ها.زمینه‌های کاربردی، الزامات عملکرد و روش‌های آماده‌سازی مواد به تفصیل مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفت و روند توسعه مورد بررسی قرار گرفت.اهداف تنگستن و آلیاژ تنگستن با خلوص بالا عمدتاً برای تولید الکترودهای دروازه، سیم‌کشی‌های اتصال و موانع انتشار مدارهای مجتمع نیمه‌رسانا استفاده می‌شوند.و غیره.،

الزامات بسیار بالایی در مورد خلوص مواد، محتوای ناخالصی، چگالی، اندازه دانه و یکنواختی ساختار دانه وجود دارد.اهداف تنگستن و آلیاژ تنگستن با خلوص بالا عمدتاً از پرس گرم، پرس گرم ایزواستاتیک و غیره استفاده می کنند. با استفاده از تف جوشی با فرکانس متوسط ​​+ پردازش فشار، می توان اهداف تنگستن با خلوص بالا و چگالی بالا را تهیه کرد، اما اندازه دانه و یکنواختی ساختار دانه کنترل، به خوبی اهداف تنگستن تهیه شده توسط فشار ایزواستاتیک داغ نیست.

هدف تنگستن متخلخل برای کندوپاش، مشخصه آن این است که چگالی نسبی 99 درصد یا بیشتر، قطر دانه کریستالی متوسط ​​100 متر یا کمتر، محتوای اکسیژن 20 ppm یا کمتر و نیروی انحراف 500 مگاپاسکال یا بیشتر و روشی برای تهیه هدف تنگستن با پایداری با هزینه کم که از شرایط تولید بهبود یافته برای پودر تنگستن ماده خام و شرایط پخت بهبود یافته استفاده می کند.هدف تنگستن متخلخل دارای سطح بالایی از چگالی و درجه بالایی از ظرافت ساختار کریستالی است که هرگز با روش تف جوشی فشار مرسوم به دست نیامده است و به طور قابل توجهی در نیروی انحراف بهبود یافته است که منجر به کاهش قابل توجهی در وقوع شده است. از نقص ذرات

مواد:تنگستن

وضعیت:زمین

کاربرد:صنعت پوشش PVD،لوله اشعه ایکس و غیره.